沈阳百乐真空技术有限公司

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产品展示
工具镀膜机
工具镀膜机
      本厂研发的PVD1050-8型镀膜机是专为工具(功能)镀膜应用开发的计算机自动控制离子镀膜机,适用于切削工具、刃具、模具等镀膜生产,设备可在450℃~500℃高温下长期稳定运行。
      设备配置离子源清洗(加装挡板),实线离子轰击清洗;配有步进电机驱动转架,实现精确定位,转架可拉出便于装卸;配有电磁结构磁场设计的φ155大弧源,靶温相对较低,弧斑运动更快,膜层细腻;4纵列弧源配置,可沉积2种不同材料膜系,保证膜层均匀;宽水道加强设计,超强刚性,炉体水冷效果好。



技术参数
    * 真空室尺寸:φ1050×1200
    * 极限真空度:5×10-4Pa
    * 空恢时间:大气抽到6。7×10-3Pa≤20min
    * 压升率:≤0.5Pa/h
    * 使用温度:450℃,最高温度500℃
 主要配置
    * 分子泵:TYFB-3600分子泵,1台
    * 预抽泵:RVP25直联泵,4台
    * 罗茨泵:RTO-300,1台
    * 弧源数量:8套
    * 离子源数量:3套
    * 转架数量:2套
    * 控制:PLC/触摸屏控制
    * 偏压:40KW
    * 弧电源:250A
    * 片式加热器:36KW
    * 主要膜层:TiN  ALTiN  TiSIN  TiCN  AlCrN  CrN  DLC(选配)

数据提供:    
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刘经理:
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